南京弘殷泰电子科技有限公司

真空等离子

真空等离子

机台型号：HYT-135LML
整机规格：1420mm (W) ×1700mm (H)×1100mm (D )
腔体规格：500mm (W) ×500mm (H)×500mm (D )
电极规格：内置平板式电极，474mm×440mm (D )
载物层数：8层，层间距45mm
电源系统：固态晶体管等离子发生源
控制系统：触摸屏+PLC控制
放电真空度：20-60Pa
输入电压：380V三相50Hz
可加载气体： 氩气（Ar）、氧气（O2）、氮气（N2）、四氟化碳（CF4）、氢气（H2）、接枝气体等，可同时接通多种气体。
特点：手动/自动操作、水平式结构、精度高、响应快、良好的操控性和兼容性、完善的功能和专业的技术支持。